高分辨率
色差校正的光學(xué)系統(tǒng)，能觀察到明亮的、高對比度的深紫外線影像
采用了適合深紫外線248 nm的光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了可見光線2倍以上的分辨率。即使是深紫外線領(lǐng)域，也能進(jìn)行248±4 nm的寬范圍波長色差校正。能有效利用照明光源，獲得鮮明的深紫外線觀察影像，適用于觀察低反射率的銅接線等標(biāo)本。也可以在檢查更微細(xì)的半導(dǎo)體圖紋面和磁頭滑動面的縫隙時，檢查電極時，以及在縮微平版印刷技術(shù)中使用這個顯微鏡系統(tǒng)。
不使用粘合的全新DUV物鏡
DUV物鏡 |
DUV物鏡采用了本公司獨(dú)有的"無粘合透鏡"設(shè)計(jì)制造技術(shù)。新開發(fā)的DUV物鏡不使用粘合材料，高精度地組裝了18組18片的透鏡。即使是長時間的深紫外線照射，DUV物鏡也能維持優(yōu)異的性能。 |
高擴(kuò)展性
分離式深紫外燈箱，提高了產(chǎn)品組合的靈活性。
深紫外線觀察單元 |
把作為熱源的燈箱從深紫外線鏡筒分離，使之成為獨(dú)立的光源單元。使用UV光引導(dǎo)把照明光線從光源單元導(dǎo)向鏡筒，這樣一來，在設(shè)置顯微鏡時其布局就容易了許多。此外，光源單元前面的操作旋鈕，可以無級調(diào)光，能調(diào)節(jié)出適合樣品的最佳亮度。石英纖維的使用實(shí)現(xiàn)了均一的DUV光照明。 |
實(shí)時成像
高分辨率的DUV數(shù)碼照相機(jī)由軟件控制，可高速獲取數(shù)據(jù)。計(jì)算機(jī)上獲取的圖像可快速存檔和分析，以便存入數(shù)據(jù)庫和生成報告。
高經(jīng)濟(jì)性
小型緊湊、低成本
DUV鏡筒構(gòu)造簡單，沒有操作部分。照明部分可以拆卸，與傳統(tǒng)的專用設(shè)備相比，重量減少了約1/2，實(shí)現(xiàn)了小型、輕便化。此外，成本也約壓縮為原來的一半。
采用超長壽命的水銀氙燈
光源盒 |
在深紫外線照明上采用了照明時間平均為1000小時的超長壽命水銀氙燈。減少了照明燈的更換，降低了運(yùn)行成本。 |
將深紫外線觀察裝置搭載于顯微鏡上，就可以組成深紫外線觀察顯微鏡。有關(guān)對應(yīng)的顯微鏡規(guī)格，請參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。
深紫外線觀察裝置
| U-UVF規(guī)格 |
| UV248鏡筒 U-UVF248IM |
DUV光學(xué)系統(tǒng) |
使用波長 |
248±4nm |
| 光源 |
80W Mercury Xenon Lamp |
| 物鏡 |
Dedicated DUV100x Objective Lens: N.A. 0.9, WD 0.2mm |
| 中間倍率 |
2.5x |
| 視場數(shù) |
12.5
(Actual Field of View: 50µm) |
| 適用溫度環(huán)境 |
23±5°C |
| 可見光線光學(xué)系統(tǒng) |
物鏡 |
UIS Objective Lens |
| 中間倍率 |
1x |
| 視場數(shù) |
22
(20 for Camera Observation) |
| UV428光源盒 U-UVF248LB |
亮度調(diào)節(jié)
快門 |
0到100%手動無級調(diào)節(jié)
上下滑動式切換撥桿 |
| UV光導(dǎo)U-UVF2FB/5FB |
長度2 m或5 m |
| 水銀氙燈盒U-LH80HGXE |
使用80 W水銀氙燈 |
| 電源裝置 |
USHIO制造（100 V～120 V） |
對應(yīng)顯微鏡一覽
> MX61A: 可以綜合控制外圍設(shè)備、對應(yīng)300 mm晶圓的電動型號
> MX61L/ MX61: 可以對應(yīng)300 mm/ 200 mm 晶圓的電動型號
> MX51: 可以對應(yīng)150 mm晶圓的手動型號