始終提供最佳觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強(qiáng)大的缺陷檢查能力
采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫最佳化，實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。
自動(dòng)調(diào)節(jié)最佳亮度
亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖 |
物鏡選擇和觀察方法切換連動(dòng)，自動(dòng)地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。 |
對(duì)應(yīng)各種設(shè)備的實(shí)時(shí)AF
深紫外線觀察用物鏡 |
MX61A裝載了在對(duì)焦精度、對(duì)焦速度上性能優(yōu)越的動(dòng)態(tài)AF。新開發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時(shí)對(duì)焦。 |
對(duì)應(yīng)多種觀察方法
物鏡UIS2系列產(chǎn)品 |
在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。
觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單，只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以。 |
提供擴(kuò)展性的解決方案
提供擴(kuò)展性的解決方案
適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊 |
"顯微鏡控制軟件"作為核心對(duì)MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個(gè)應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機(jī)、電動(dòng)載物臺(tái)等外圍設(shè)備。一直以來(lái)，必需進(jìn)行若干個(gè)操作才能實(shí)現(xiàn)的高級(jí)觀察方法、深紫外線觀察等的切換，只要一次點(diǎn)擊就能順利完成。該軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性，滿足了不斷變化的分析需求。 |
顯微鏡控制軟件 MX2-BSW
顯微鏡控制軟件顯示畫面 |
顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進(jìn)行各種顯微鏡控制和AF，還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動(dòng)載物臺(tái)*1等。對(duì)于數(shù)碼照相機(jī)*2，能夠控制它的觀察和記錄。觀看實(shí)況影像時(shí)單擊需觀察的地方，快速移動(dòng)到視場(chǎng)中心、實(shí)況計(jì)量和檢測(cè)、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實(shí)現(xiàn)。
*1對(duì)應(yīng)本公司推薦的電動(dòng)載物臺(tái)
*2對(duì)應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司推薦的IEEE1394數(shù)碼照相機(jī)
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實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒有危害的自動(dòng)化
符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準(zhǔn)），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn)）和CE標(biāo)識(shí)（歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證）等的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒
傾斜觀察筒示意圖 |
備有2種能以舒適姿勢(shì)觀察的傾斜鏡筒。可以根據(jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào)，或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的U-SWETTR-5型號(hào)。 |
潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 |
備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器。
6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達(dá)，實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。 |
高抗振本體
高倍率觀察圖像示意圖 |
采用了不易受振動(dòng)影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察，也不會(huì)出現(xiàn)影像模糊的情況。 |
可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
手控開關(guān)操作部 |
配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。 |
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件
晶圓搬送機(jī)組合
晶圓搬送機(jī) |
可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。 |
自動(dòng)載物臺(tái)組合
自動(dòng)載物臺(tái) |
備有對(duì)應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動(dòng)載物臺(tái)。通過(guò)PC控制，可以實(shí)現(xiàn)高級(jí)檢查、不良分析功能。 |
| 全自動(dòng)半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格 |
| 光學(xué)系統(tǒng) |
UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正） |
| 機(jī)身 |
觀察方法 |
明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 |
| 反射/透射 |
反射 |
| 照明裝置 |
機(jī)身一體型（明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)＋1選件） |
| 照明系統(tǒng) |
反射照明 |
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
| 透射照明 |
- |
| 對(duì)焦單元 |
電動(dòng)/手動(dòng) |
電動(dòng) |
| 行程 |
25.4 mm |
| 分辨率/微調(diào)靈敏度 |
分辨率0.01 μm |
| 最大樣本高度 |
24 mm |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 |
電動(dòng)型 |
明視場(chǎng)微分干涉6孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉中心補(bǔ)正5孔 |
| 手動(dòng)式 |
- |
| 載物臺(tái) |
行程 |
14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm |
| 觀察筒 |
廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22） |
倒置 |
- |
| 正像 |
- |
| 超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5） |
倒置 |
- |
| 正像 |
傾斜三目觀察筒 |
| 附件單元 |
自動(dòng)調(diào)焦/DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 |
| 外形尺寸 |
711（W）×853（D）×552（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合） |
| 重量 |
56 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） |