人機工程學設計，操作方便
- 可以自由設置的檢查模式，在設計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設備的操作簡便性。
- 分別對應FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。
堅固、可靠和安全傳送
- 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
- 薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。
- 宏觀觀察位置的最優化和操作單元的集中排列，提高了設備的操作舒適性。
專用宏觀照明裝置
專用宏觀照明裝置 |
為異物、傷痕、膜斑、散焦的發現提供了理想的照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實現了300 mm晶圓的冷光源全面照射。 |
| 自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規格 |
| |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
| 晶圓尺寸 |
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm |
| 卡盒 |
●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開門標準夾
●SEMI：E47.1-0200規格產品
●FIMS-FOSB, FOSB |
●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開門搬運盒
●SEMI：M31-0999規格產品 |
| 卡盒數 |
單盒（裝載、卸載兼用） |
| 卡盒設置高度 |
900 mm |
| 裝載端口 |
有 |
無 |
| 搬運順序 |
表面宏、內面宏、顯微鏡檢查 |
| 檢查模式 |
全部檢查、抽樣檢查 |
| 晶圓校準 |
非接觸式中心環 |
| 晶圓搬運方式 |
真空吸附機械搬運 |
| 適用顯微鏡 |
半導體檢查顯微鏡MX61L |
| 應用環境 |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa |
| 載物臺 |
XY手動吸附載物臺，有XY粗調／微調和360度旋轉機構 |
| 重量（不包括顯微鏡） |
約360 kg |
約270 kg |